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公司新闻  
真空系统中怎样选择真空泵
发布时间:2019-11-6

所谓真空系统,它是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的联接方式,组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是:
     ① 在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真空度各有其重要性,它们从不同侧面对器件质量产生影响。例如在用氧化物阴极器件的排气真空系统中,电极除气和阴极分解会大量出气,如果工作真空度差,则可能出现电极被氧化及阴极激活欠佳的结果。但器件最后封离时已基本上无漏放气,器件内的真空度就取决于排气真空系统的极限真空度。
     ② 为获得某一工作真空度所需的时间。这时间决定于真空系统抽速的大小。提高抽速可缩短这一时间。大的工作室如宇航模拟装置等,显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大,但由于漏放气严重,则真空系统也需要大的抽速,否则大量的漏放气将大大降低真空度,使系统无法工作。
     ③ 在被抽器件或工作室内有合适的残气成分。实践证明,单纯提高和保证极限真空度及工作真空度是不够的,还应对残余气体成分有一定的要求。例如真空摄像器件,为了保持在一年寿命期内灵敏度的降低不大于巧,要求器件内的残余气体的含氧量应不高于10 一2Pa 耐高压的真空开关管内,应不含有碳氢化合物分子等等。④ 此外,真空系统还必须结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等。要满足这些要求,必须从泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。同时,上述这些基本要求,经常是相互联系的。例如,由于真空系统总不免存在有微漏现象,故采用抽速大的泵比抽速小的泵能获得较好的工作真空度,但大的泵价格贵,耗水、耗电多,故就有合理选择的问题。
     一般说来,对于气密性较好的真空系统,如果没有经常性的放气,内部也没有蒸气源,则可采用较小的,极限真空度较好的泵。但是,如果系统的漏放气较多,则必须用提高抽速的办法来保证其工作真空度,这时应采用较大抽速的泵,并尽可能增大管道流导,即选用短而粗的管道。

     真空系统的残气成分,如系统中无其它气源,则主要取决于泵的特性。

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